特許

J-GLOBAL ID：200903066211660259

感光性ペースト

発明者： 正木 孝樹 ,  井口 雄一朗 ,  堀内 健
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091361
公開番号（公開出願番号）：特開平10-333324
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、厚さ50μmあたりのg線波長領域での全光線透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペーストによって達成される。また、無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、厚さ50μmあたりのg線波長領域での直進透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペーストによって達成される。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、塗布膜厚50μmで測定した場合のg線波長領域での全光線透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (11件)：

G03F 7/004 501 ,  C09D 5/00 ,  C09D 5/32 ,  C09D 7/12 ,  C09D 17/00 ,  C09D201/02 ,  C09D201/08 ,  G02F 1/1343 ,  G03F 7/027 ,  H01J 9/02 ,  H01J 17/04

FI (11件)：

G03F 7/004 501 ,  C09D 5/00 C ,  C09D 5/32 ,  C09D 7/12 Z ,  C09D 17/00 ,  C09D201/02 ,  C09D201/08 ,  G02F 1/1343 ,  G03F 7/027 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 17/04