高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-047468
公開番号（公開出願番号）：特開2002-249520
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】 (1)で示される基を有する高分子化合物。(R1はフッ素原子又はフッ素化アルキル基、R2は水素原子又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状アルキル基。R3、R4は水素原子、フッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状アルキル基又はフッ素化たアルキル基。R3、R4は環を形成してもよく、その場合はそれぞれ炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状アルキレン基又はフッ素化されたアルキレン基。a、bは0〜2の整数、cは1〜3の整数であり、a+b+c=3である。kは1〜5の整数、k’は0〜4の整数であり、k+k’=5である。)【効果】レジスト材料として、高エネルギー線、特に170nm以下の波長のものに対する感度が優れ、含フッ素芳香環の導入によりプラズマエッチング耐性が向上し、同時に優れた解像性を有する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で示される基を有する高分子化合物。【化1】(式中、R1はフッ素原子又はフッ素化されたアルキル基であり、R2は水素原子又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基である。R3、R4は水素原子、フッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R3、R4は環を形成してもよく、その場合はそれぞれ炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキレン基又はフッ素化されたアルキレン基を表す。a、bは0〜2の整数、cは1〜3の整数であり、a+b+c=3である。kは1〜5の整数、k’は0〜4の整数であり、k+k’=5である。)

IPC (7件)：

C08F 20/16 , C08F 22/14 , C08F 32/00 , C08F 34/00 , C08L101/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (7件)：

C08F 20/16 , C08F 22/14 , C08F 32/00 , C08F 34/00 , C08L101/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (77件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 2H025FA01 , 2H025FA12 , 4J002AA051 , 4J002BG031 , 4J002BG081 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002ED058 , 4J002EH148 , 4J002EJ018 , 4J002EJ038 , 4J002EJ048 , 4J002EJ058 , 4J002EL068 , 4J002EL088 , 4J002EN027 , 4J002EN037 , 4J002EN047 , 4J002EN067 , 4J002EN077 , 4J002EN107 , 4J002EN117 , 4J002EN127 , 4J002EP017 , 4J002EU027 , 4J002EU037 , 4J002EU047 , 4J002EU057 , 4J002EU077 , 4J002EU117 , 4J002EU127 , 4J002EU137 , 4J002EU147 , 4J002EU227 , 4J002EU237 , 4J002EV216 , 4J002EV237 , 4J002EV246 , 4J002EV266 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002EV327 , 4J002FD206 , 4J002FD208 , 4J002GP03 , 4J100AL08P , 4J100AL26P , 4J100AL46P , 4J100AL51P , 4J100AR04P , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100AR36P , 4J100BA11P , 4J100BA15P , 4J100BA20P , 4J100BB07P , 4J100BB18P , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC43P , 4J100CA01 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-049039
特開平2-045509

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