特許
J-GLOBAL ID:200903066221851710
微粒子配列物製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
磯村 雅俊
, 渡邉 昌幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-276627
公開番号(公開出願番号):特開2004-113843
出願日: 2002年09月24日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【課題】高品質で、欠陥のない微粒子配列物の製造技術を提供すること。【解決手段】密閉性容器(201)を一般的なスピンナーの基材ステージ(202)に保持する。密閉性容器(201)に開口部Aから微粒子分散液(203)を滴下する。次に、微粒子分散液(203)を滴下した密閉性容器(201)を所定の回転数プログラムでモーターを用いて回転させる。滴下した微粒子分散液中の微粒子は、遠心力の作用により外周方向へと移動し最密充填に配列する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
微粒子を分散させた分散液を原料とするスピンコート法による微粒子配列物製造方法において、
2枚の支持体によって形成された空隙を持つ少なくとも一箇所に開口部を有する密閉性容器を用い、該空隙内に前記分散液を導入し、該密閉性容器全体に対して前記2枚の支持体で構成される面に平行である回転運動を与えることを特徴とする微粒子配列物製造方法。
IPC (5件):
B05D1/40
, G02B1/11
, G02F1/1334
, G02F1/1335
, G02F1/1337
FI (5件):
B05D1/40 A
, G02F1/1334
, G02F1/1335
, G02F1/1337
, G02B1/10 A
Fターム (41件):
2H089HA04
, 2H089JA05
, 2H089QA16
, 2H089TA04
, 2H089TA11
, 2H090HA05
, 2H090HB03Y
, 2H090HB06Y
, 2H090HB07Y
, 2H090JA06
, 2H090LA05
, 2H090MB14
, 2H091FA37Y
, 2H091FB02
, 2H091FB13
, 2H091FC14
, 2H091FC29
, 2H091FD01
, 2H091FD23
, 2H091GA01
, 2H091LA30
, 2K009AA12
, 2K009CC03
, 2K009CC09
, 2K009DD02
, 4D075AC64
, 4D075AC84
, 4D075CA48
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075DC27
, 4D075EA10
, 4D075EA19
, 4D075EA21
, 4D075EB14
, 4D075EC01
, 4D075EC02
, 4D075EC03
, 4D075EC05
, 4D075EC07
前のページに戻る