特許

J-GLOBAL ID：200903066232280430

配向性ZnO系圧電材料及びその製造方法

発明者： 南川 忠洋 ,  白露 幸祐 ,  安藤 陽 ,  伴野 国三郎
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-138563
公開番号（公開出願番号）：特開平8-310813
出願日： 1995年05月12日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】【目的】 絶縁抵抗及び誘電損失係数を改善し、特に発振子やフィルタとして使用した場合に有意義な配向性ZnO系圧電材料及びその製造方法を提供する。【構成】 Ca、Mg、Ni及びCuからなる元素種群より選ばれる少なくとも1種を配向性ZnOの組織中に含有させる。また、前記元素種(Ca、Mg、Ni及びCu)の少なくとも1種を、熱拡散の方法により配向性ZnOの組成中に含有させる。

請求項（抜粋）：

Ca、Mg、Ni及びCuからなる元素種群より選ばれる少なくとも1種を組成中に含有することを特徴とする配向性ZnO系圧電材料。

IPC (3件)：

C01G 9/02 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24

FI (3件)：

C01G 9/02 ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/22 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-162133
  
• 特開昭54-042698
  
• 特開昭53-118798