特許

J-GLOBAL ID：200903066233641460

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者： 藤田 陽二 ,  諏訪 充史 ,  富川 真佐夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247467
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133975
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表される少なくとも一つのキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。(式中R1 2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基。R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基。R3 、R4は水素、または炭素数1から20までの有機基のいずれか。nは10から100000までの整数、m、fは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数。ただしp+q>0。)(式中、R5はカルボニル基、チオカルボニル基またはスルホニル基。a、bは0〜3の整数。Qは5又は4-ナフトキノンジアジドスルホニル基、水素原子のいずれか。又、a+b>0であり、Qの全ては水素原子になることはない。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表される少なくとも一つのキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1 は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基を示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基を示し、R3 、R4は水素、または炭素数1から20までの有機基のいずれかを示す。nは10から100000までの整数、m、fは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。ただしp+q>0である。)【化2】(式中、R5はカルボニル基、チオカルボニル基またはスルホニル基を示し、R6、R7は水素原子、炭素数1〜8までのアルキル基、アルコキシル基、カルボキシル基、エステル基のいずれかを示す。R8〜R11は水素原子、水酸基、炭素数1〜8までのアルキル基のいずれかを示す。a、bは0〜3の整数を示し、Qは5-ナフトキノンジアジドスルホニル基、4-ナフトキノンジアジドスルホニル基、水素原子のいずれかを表す。ただし、a+b>0であり、Qの全ては水素原子になることはない。)

IPC (6件)：

G03F 7/037 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/42 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/037 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/42 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/30 502 R