平面表示パネルの欠陥検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051063
公開番号（公開出願番号）：特開2002-251149
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】一対のねじ軸を同期駆動させる一方のモータの不測な故障等に起因しての他方のモータの破損やねじ軸の曲がり、その他、センサ載置フレームの変形といった事態を確実に防止できるようにする。【解決手段】パネル載置ベースの両側に、回転軸線をスキャン方向Yに向けてねじ軸32を配置し、ねじ軸32に螺着の雌ねじ33にスライドベース30を取り付け、かつ、ねじ軸32に同期駆動されるモータ34を連結し、一方のスライドベース30に、受光素子の配列方向にスライド可能な第2のスライドベース35を備えて、この第2のスライドベース35と他方のスライドベース30とにわたって、パネル表面に鉛直な方向の軸線まわりで可動可能にセンサ載置フレーム3を枢着し、更に、センサ載置フレーム3の回動検知センサ46を備えて、このセンサ46からのフレーム回動の検知情報に基づいてモータ34を駆動停止させるように構成している。

請求項（抜粋）：

複数の受光素子を一直線上に配列してなるラインセンサの複数を、受光素子の配列方向に並べてフレームに載置すると共に、この複数のラインセンサによって平面表示パネルの複数の画素を配列方向に直交する方向でスキャンして、このラインセンサからの画素の輝度データに基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するようにした欠陥検査装置であって、平面表示パネルの載置ベースを固定的に設け、このベースの両側に、回転軸線をスキャン方向に向けてねじ軸を配置すると共に、ねじ軸に螺着の雌ねじにスライドベースを取り付け、かつ、ねじ軸に同期駆動されるモータを連結すると共に、一方のスライドベースに、受光素子の配列方向にスライド可能な第2のスライドベースを備えて、この第2のスライドベースと他方のスライドベースとにわたって、パネル表面に鉛直な方向の軸線まわりで可動可能にセンサ載置フレームを枢着し、更に、センサ載置フレームの回動検知センサを備えて、このセンサからのフレーム回動の検知情報に基づいてモータを駆動停止させるように構成して成ることを特徴とする平面表示パネルの欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G09F 9/00 352 , G02F 1/13 101

FI (2件)：

G09F 9/00 352 , G02F 1/13 101

Fターム (8件)：

2H088FA13 , 2H088MA20 , 5G435AA17 , 5G435AA19 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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