特許
J-GLOBAL ID：200903066240893254
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-191602
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011458
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 1つの欠陥の一部がくびれて細くなっていたり、読み取り濃度が薄かったり、欠陥が斜め方向の場合にも、リアルタイムで1つの欠陥と判定する。【構成】 ラインCCDカメラ1により撮像された被検査物の画像がコンパレータ4により2値化され、欠陥の幅がランレングス符号化回路5により符号化される。CPU15はこのランレングス符号を連続する複数の走査ラインにわたり連結性処理することにより前記欠陥を膨張して欠陥の状態を分類し、この分類された欠陥データに基づいて被検査物の欠陥が1つか否かを判定する。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読み取り、アナログ信号を出力するラインイメージセンサと、前記ラインイメージセンサからのアナログ信号のレベルを所定値と比較して2値化することにより前記被検査物表面の欠陥を検出する2値化手段と、前記2値化手段により2値化された信号をランレングス符号化する符号化手段と、前記符号化手段により符号化されたランレングス符号を連続する複数の走査ラインにわたり連結性処理することにより前記欠陥を膨張して欠陥の状態を分類する分類手段と、前記分類手段により分類された欠陥データに基づいて被検査物の欠陥が1つか否かを判定する判定手段とを有する欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/89
, D06H 3/08
, G01N 21/88
, G06F 15/62 400
, G06F 15/66 415
