特許

J-GLOBAL ID：200903066244210062

流体加熱装置

発明者： 三股 充 ,  野手 潔
出願人/特許権者： 小松エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-227849
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042548
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 出口温度の降温要求設定に際し、出口温度の降温制御開始までの待ち時間を短縮し、排水弁による加熱部冷却用の流体の排水量を節減する。【解決手段】 排水弁60を可変弁50の前に設け、設定温度が例えば35°Cからこれより低いRtに変更されることにより、加熱部10a,10bのランプ加熱を停止し、該加熱部10a,10bに流した冷却用の流体を排水管60を介して排水開始させると共に、これとは独立に、可変弁50において流出管P22から流入する流体(流体温度>Rt)に対してバイパス管P3から流入する流体(流体温度=Rt)の混合比率を次第に増大させていき、該可変弁50から流出する混合流体の温度(出口温度)を下げる制御を開始する。

請求項（抜粋）：

加熱手段により加熱された加熱流体と前記加熱手段により加熱されていない非加熱流体を流体混合手段で混合して出力することにより、前記混合流体の出口温度を設定温度に制御する流体加熱装置において、前記混合流体の出口温度が現在設定温度より低い所定の要求温度に設定変更された時に、前記加熱手段の加熱制御を停止して前記加熱手段を冷却するための冷却用流体を排水する排水弁を備え、前記排水弁を前記流体混合手段の前段に設置したことを特徴とする流体加熱装置。

IPC (3件)：

F24H 1/10 302 ,  F24H 1/10 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

F24H 1/10 302 K ,  F24H 1/10 302 D ,  F24H 1/10 302 H ,  H01L 21/304 648 K

Fターム (5件)：

3L034CA04 ,  3L034CA05 ,  3L034DA01 ,  3L034DA04 ,  3L034DA06