特許
J-GLOBAL ID：200903066258016080
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-230519
公開番号（公開出願番号）：特開平10-071722
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 液室の寸法精度が悪く、インク吐出特性にバラツキが生じる。【解決手段】 ノズルプレート51に第1層のドライフィルムレジスト75をラミネートした後、このドライフィルムレジスト75を加圧液室64及び流体抵抗部となるインク供給路66に相当する部分のみをマスクパターンで露光し、次いで、ドライフィルムレジスト75上に第2層のドライフィルムレジスト77をラミネートした後、加圧液室64とそれ以外の部位65,66が所望形状になるマスクパターンで露光し、ドライフィルムレジスト75,77を一括して現像する。
請求項（抜粋）：
基板上に複数のフィルム状感光性樹脂層を積層して所定形状のインク流路の隔壁部を形成したインクジェットヘッドの製造方法において、互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂層の内の前記基板側の第1の感光性樹脂層をラミネート方向に硬化領域がほぼ均一になるように硬化させた後、この第1の感光性樹脂層上に他の感光性樹脂層をラミネートすることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
引用特許：
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