特許

J-GLOBAL ID：200903066258932230

表面粗さ形状測定機の測定条件設定方法及びその装置

発明者： 久米 重文
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307133
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132554
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 表面粗さ形状測定の測定条件(測定レンジ、測定速度、カットオフ値、評価長さ)が容易に設定できる測定条件設定方法及びその装置を安価に提供する。【解決手段】 作業者が、測定種別と算出規格を指定すると(ステップ11)、該当する各種パラメータが表示され(ステップ12)、その中から必要なパラメータを指定し(ステップ13)、その後ワークを測定(仮測定)すると(ステップ16)、測定条件のうち、測定データの最大変位量から測定レンジが、測定データの最大傾斜から測定速度が設定される。さらに、指定されたパラメータと測定データから算出されたパラメータ値とによってカットオフ値が設定され、そのカットオフ値から評価長さが設定される(ステップ17)。

請求項（抜粋）：

測定種別及び算出規格を作業者が指定すると、指定された測定種別及び算出規格の両方に該当するパラメータが表示され、その中から作業者がパラメータを指定すると、指定された前記パラメータが設定され、あらかじめ設定された仮の測定条件でワークを測定すると、測定して得られた測定データが前記仮の測定条件及び設定された前記パラメータで解析され、解析された結果によって正式な測定条件が算出され設定されることを特徴とする表面粗さ形状測定機の測定条件設定方法。

IPC (3件)：

G01B 21/30 102 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/20

FI (3件)：

G01B 21/30 102 ,  G01B 21/00 G ,  G01B 21/20 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-118412
  
• 特開平4-369419
  
• 特開平2-124414