X線顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219306
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067000
出願日： 1992年08月18日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】従来の二次元検出器を用い、空間分解能数10nmを有し、かつ、リアルタイムで観察できるX線顕微鏡を提供する。【構成】 X線顕微鏡の対物レンズ7と検出器9の間に、シュワルツシルド型光学系8を新たに設けることにより、対物レンズ7によって結像された像を検出器9の1画素のサイズまで拡大する。対物レンズの優れた解像度を損なうことなく、明るい良好な顕微像がリアルタイムで得られる。実施例の構成は、これらのほかに、光源1,集光レンズ2,レーザーターゲット3,フィルター4,コンデンサーレンズ5,蛍光変換面9aを含む。6はサンプルである。

請求項（抜粋）：

X線顕微鏡の対物レンズと検出器の間にシュワルツシルド型光学系を設けたことを特徴とするX線顕微鏡。

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