流体検出センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315151
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148849
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】ヒータ温度制御を精度よく行うことができ、高精度でかつ応答性の高い流体検出センサであってかつ熱劣化の問題を解消することができる流体検出センサを提供する。【解決手段】測温抵抗体5、6の端部はシリコンチップから構成される端子7、8に接続されている。本例の構造では、ヒータ4の中央部には、ヒータ4の延びる方向に沿って延びるヒータ温度検出用温度検出素子9が設けられている。ヒータ温度検出用温度検出素子9の周囲は実質的にヒータ4によって囲まれておりヒータ温度検出用温度検出素子9は、ヒータの熱にのみ依存して温度指示する。

請求項（抜粋）：

流体流れ中に配置される発熱手段と、前記流体流れにおいて前記発熱手段の上流側に配置され、前記発熱手段の熱影響を受ける流体の温度を検出する上流側流体温度検出手段と、前記発熱手段の下流側に配置され、前記発熱手段の熱影響を受ける流体の温度を検出する下流側流体温度検出手段とを有し、前記上流側および下流側流体温度検出手段の検出結果に基づいて前記流体の流量を求める流体検出センサにおいて、前記発熱手段の近傍に該発熱手段の温度を検出するための加熱温度検出手段がさらに設けられており、前記発熱手段の温度が前記加熱温度検出手段の検出結果に基づいて所定の温度に制御されるようになっており、前記加熱温度検出手段を挟んで前記流体流れの上流側と下流側のいずれの側にも前記発熱手段が存在するように構成されていることを特徴とする流体検出センサ。

IPC (3件)：

G01F 1/68 , F02D 35/00 , G01P 5/12

FI (3件)：

G01F 1/68 , G01P 5/12 C , F02D 35/00 366 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180089 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
感熱式流速計及びこれを用いたフルイディック流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-014512 出願人：株式会社リコー
流量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-022342 出願人：マツダ株式会社

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