特許

J-GLOBAL ID：200903066275034238

光路分割光学系

発明者： 作田 博伸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337761
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159967
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 光路中に傾けて配置された平板状の第1の光分割素子に起因して発生する諸収差のうち特に色収差を良好に補正することのできる光路分割光学系。【解決手段】 平面状に形成され且つ入射光束の一部を反射するための入射面と該入射面に対向した射出面とを有し、収れん光束の光路中に傾けて配置された平板状の第1の光分割素子と、第1の光分割素子と第1の光分割素子の透過光束の集光点との間の光路中で第1の光分割素子の近傍に偏心して配置され且つ弱い負の屈折力を有する負レンズ群と、第1の光分割素子と第1の光分割素子の透過光束の集光点との間の光路中で集光点の近傍に偏心して配置され且つ弱い正の屈折力を有する正レンズ群とを備え、第1の光分割素子を射出した収れん光束中で発生している色収差を、負レンズ群と正レンズ群との組み合わせにより補正する。

請求項（抜粋）：

収れん光束の光路中に配置され、入射光束を2つ以上の光路に沿って分割する光路分割光学系において、平面状に形成され且つ入射光束の一部を反射するための入射面と該入射面に対向した射出面とを有し、前記収れん光束の光路中に傾けて配置された平板状の第1の光分割素子と、前記第1の光分割素子と前記第1の光分割素子の透過光束の集光点との間の光路中で前記第1の光分割素子の近傍に偏心して配置され且つ弱い負の屈折力を有する負レンズ群と、前記第1の光分割素子と前記第1の光分割素子の透過光束の集光点との間の光路中で前記集光点の近傍に偏心して配置され且つ弱い正の屈折力を有する正レンズ群とを備え、前記第1の光分割素子を射出した収れん光束中で発生している色収差を、前記負レンズ群と前記正レンズ群との組み合わせにより補正することを特徴とする光路分割光学系。

IPC (3件)：

G02B 27/10 ,  G02B 5/00 ,  G02B 17/00

FI (3件)：

G02B 27/10 ,  G02B 5/00 C ,  G02B 17/00 A