特許

J-GLOBAL ID：200903066277339494

ダイシング装置及びダイシング装置の目立て方法

発明者： 反町 三男 ,  土島 次郎 ,  四ツ辻 和宏
出願人/特許権者： 株式会社東京精密 ,  旭ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033340
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228836
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 本発明はダイシング装置及びダイシング装置の目立て方法に関し、砥石刃(ブレード)の目立て動作に要する時間の短縮と目立て動作中のブレードの摩耗量の低減を目的とする。【構成】 砥粒を結合材で固定した回転する砥石刃1と、砥石刃1の被加工物10との接触部に切削液を供給する切削液供給手段2とを備えるダイシング装置において、前記砥石刃の結合剤の溶解を促進する促進剤を切削液に混入させる促進剤供給手段3と、砥石刃1の表面状態を加工に適した状態にするため被加工物10としてダミー部材を加工する時にのみ促進剤が混入されるように促進剤供給手段3を制御する促進剤供給制御手段4を備える。

請求項（抜粋）：

砥粒を結合材で固定した回転する砥石刃(1)と、該砥石刃(1)の被加工物(10)との接触部に切削液を供給する切削液供給手段(2)とを備えるダイシング装置において、前記砥石刃(1)の結合材の溶解を促進する促進剤を、前記切削液に混入させる促進剤供給手段(3)と、前記砥石刃(1)の表面状態を加工に適した状態にするため、前記被加工物(10)としてダミー部材を加工する時にのみ、前記促進剤が混入されるように前記促進剤供給手段(3)を制御する促進剤供給制御手段(4)とを備えることを特徴とするダイシング装置。

IPC (5件)：

B24B 53/00 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/00 ,  B28D 7/02 ,  H01L 21/78