特許

J-GLOBAL ID：200903066280389060

ミラーデバイス及びその製造方法

発明者： 高木 博嗣
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-008523
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218845
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 静電型ミラーデバイスにおいて、ミリメートルオーダーに小型化、集積化が可能で且つ従来のミラーデバイスに比べて広い範囲にわたって反射光の振れ角を制御することのできるミラーデバイスを提供する。【構成】 ミラーが配設された反射層3、該反射層を支持する支持部材5、基板1上に設けられた絶縁膜6と該支持部材5との間にあって該支持部材の一端を支持する片持ち梁4、基板上に設けられた絶縁膜と該支持部材の他の一端とを接続する吸着膜2を設けてなるミラーデバイス。

請求項（抜粋）：

ミラーが配設された反射層、該反射層を支持する支持部材、基板上に設けられた絶縁膜と該支持部材との間にあって該支持部材の一端を支持する片持ち梁、基板上に設けられた絶縁膜と該支持部材の他の一端とを接続する吸着膜を設けてなるミラーデバイス。