特許
J-GLOBAL ID：200903066286776309
密閉容器の内部圧力検出用センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097263
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292291
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構造でかつ安定した詳細な特性を得ることができる。【解決手段】 密閉容器の内部圧力変化を歪で表わすセンサ11は、金属基板の底面部表面に形成した誘電体層21を絶縁体層として更にその表面に、キャパシタとなる交差指電極が形成される。交差指電極は、平行に交互に配列された複数の二組の線状導電体31A、31Bが一つ置きに各共通電極41A、41Bにより接続されており、各共通電極41A、41Bにおける一端に入出力端子51A、51Bが接続されている。この構造により、隣り合う線状導電体31A、31Bそれぞれの間に静電容量を有する。底面部板材が変形した場合、交差指電極の静電容量の変化は、発振周波数の変化により検出することができる。底面部が中心点を有する円形または正多角形の場合、交差指電極を、中心点を一致させた環状に形成することにより効率よく歪を検出することができる。
請求項（抜粋）：
密閉容器におけるほぼ平面をなす底面部に形成してこの底面部の歪により前記密閉容器の内部圧力変化を検出する密閉容器の内部圧力検出用センサにおいて、前記底面部のほぼ中央部にに形成される基板と、この基板上に形成されこの基板の歪を静電容量の変化により検出するキャパシタとを有することを特徴とする密閉容器の内部圧力検出用センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F055AA11
, 2F055BB20
, 2F055CC14
, 2F055DD01
, 2F055DD09
, 2F055EE25
, 2F055FF43
