特許

J-GLOBAL ID：200903066292010067

三弗化窒素ガスの製造方法

発明者： 渡辺 信淳 ,  鄭 容宝 ,  金丸 宗昭 ,  在塚 眞 ,  三本 敦久
出願人/特許権者： 渡辺 信淳 ,  三井東圧化学株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-139543
公開番号（公開出願番号）：特開平5-086490
出願日： 1991年05月16日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 長時間使用に耐え、しかも、CF4 発生の少ない電極を使用して、NF3 ガスの製造を行う。【構成】 フッ化アンモニウム-フッ化水素2成分系溶融塩を電解浴とし、曲げ強度が50MPa以上である多孔性炭素ブロックの気孔中に金属フッ化物を有する高耐久性炭素電極を陽極として、好ましくは、電解電流密度4〜30A・dm-2で電解することを特徴とする三弗化窒素ガスの製造方法に関する。【効果】 電極の更新なしに、気孔中に金属フッ化物のない場合に比し、CF4 含有量のより少ないNF3 ガスを得る。

請求項（抜粋）：

フッ化アンモニウム-フッ化水素2成分系溶融塩を電解浴とし、曲げ強度が50MPa以上である多孔性炭素ブロックの気孔中に金属フッ化物を有する高耐久性炭素電極を陽極として電解することを特徴とする三弗化窒素ガスの製造方法。

IPC (2件)：

C25B 1/24 ,  C01B 21/083