特許
J-GLOBAL ID：200903066298307479
投影露光装置及びそれを用いた素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161020
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142306
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 走査型露光装置のスリット上の照明領域の照度分布が走査露光中に変化しても、走査露光領域各点の露光量を正確に算出し、正確な露光量補正を行う。【構成】 第1物体面上のパターンを第2物体面上に投影する投影光学系と、光源からの光束を所望の照度分布の光束に変換し第1物体を照明する照明光学系と、第1物体と第2物体とを前記投影光学系に対し同期させて一次元移動させる移動手段とを有し、第1物体面上のパターンを走査露光方式で第2物体面に露光する投影露光装置において、第1物体の前記走査露光方向の照度分布を測定するための複数の照度計と、前記複数の照度計の出力に基づいて走査露光中に第1物体に照射された光量分布を検出する検出手段と、前記光量分布に基づいて第2物体を再露光する補正露光手段とを有する。
請求項（抜粋）：
第1物体面上のパターンを第2物体面上に投影する投影光学系と、光源からの光束を所望の照度分布の光束に変換し第1物体を照明する照明光学系と、第1物体と第2物体とを前記投影光学系に対し同期させて一次元移動させる移動手段とを有し、第1物体面上のパターンを走査露光方式で第2物体面に露光する投影露光装置において、第1物体の前記走査露光方向の照度分布を測定するための複数の照度計と;前記複数の照度計の出力に基づいて走査露光中に第1物体に照射された光量分布を検出する検出手段と;前記光量分布に基づいて第2物体を再露光する補正露光手段;とを有することを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, G03B 27/72
, G03F 7/20 521
