特許
J-GLOBAL ID：200903066304992324
Si単結晶引上炉用炭素ヒーター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-205800
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043385
出願日： 1991年08月16日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】機械的強度が保持でき、しかも温度分布を任意に変化させることが容易なSi単結晶引上炉用炭素ヒーターを提供する。【構成】円筒状の形状をなし、上端から下端へ向かうスリットと下端から上端へ向かうスリットとが交互に設けられたヒーター本体1、およびこのヒーター本体1と一体に設けられた端子3とを有し、隣接する2つのスリット2に挟まれた各ヒーターセグメントの所望位置に貫通孔4を設ける。
請求項（抜粋）：
円筒状の形状をなし、上端から下端へ向かうスリットと下端から上端へ向かうスリットとが交互に設けられた炭素ヒーターにおいて、隣接する2つのスリットに挟まれたヒーターセグメントの所望位置に貫通孔を設けたことを特徴とするSi単結晶引上炉用炭素ヒーター。
IPC (2件)：
C30B 15/14
, C30B 29/06 502
