特許

J-GLOBAL ID：200903066308098709

高密度フッ化アルミニウム焼結体及びその製造方法

発明者： 大嶋 一之 ,  井村 浩一 ,  島井 駿蔵 ,  杉山 滋子
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-248698
公開番号（公開出願番号）：特開平8-091932
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】 各種構造部材として使用可能で、特に、半導体製造装置の構成部材としても好適な高耐食性で、且つ、低発塵性の新たな素材の提案。【構成】 相対密度が90%以上であり、酸素以外の不純物含有量が元素基準で100ppm以下であることを特徴とする高密度フッ化アルミニウム焼結体。相対密度が90%以上のフッ化アルミニウム焼結体は、(1)粒度分布0.1〜100μmのフッ化アルミニウム原料粉末を調製する工程、(2)前記フッ化アルミニウム原料粉末を成形する工程、及び、(3)成形体を不活性ガス雰囲気下で900〜1500°Cで加圧焼成して焼結する焼結工程から製造される。この場合、加圧焼結は、ホットプレス法またはホットアイソスタティックプレス法で行うのが好ましい。

請求項（抜粋）：

相対密度が90%以上であり、酸素以外の不純物含有量が元素基準で100ppm以下であることを特徴とする高密度フッ化アルミニウム焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/553 ,  C01F 7/50