特許
J-GLOBAL ID：200903066312275089

基板処理装置

発明者：
丸山 訓生

丸山 訓生 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001237
公開番号（公開出願番号）：特開2002-208624
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：
【要約】【課題】特に熱処理後のウエハ等の高温の基板を急速冷却することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】複数の基板を基板冷却用部材で支持して冷却する基板処理装置において、基板を冷却する冷却ガスを上記基板冷却用部材の基板支持部から基板面に沿って導出する手段を有する冷却室を備えた基板の処理装置とする。
請求項（抜粋）：
基板を基板冷却用部材で支持して冷却させる基板処理装置において、基板を冷却する冷却ガスを、上記基板冷却用部材の基板支持部から基板に対し導出させることを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285
FI (4件)：
H01L 21/68 N ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 C
Fターム (18件)：
4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030KA24 ,  4K030LA15 ,  4M104DD44 ,  5F031CA02 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031HA42 ,  5F031MA28 ,  5F031NA04 ,  5F045BB08 ,  5F045EB08 ,  5F045EE14 ,  5F045EE20 ,  5F045EJ02 ,  5F045EJ10 ,  5F045EM08
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特公昭55-033891
  • 床ずれ防止マツト
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-274659   出願人：岡部義房
  • クッションマット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-209069   出願人：毛利彰

前のページに戻る

TOP

BOTTOM