特許

J-GLOBAL ID：200903066315233522

気相成長装置

発明者： 今西 大介 ,  山本 直
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020567
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223536
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 気相成長を行う反応管内の圧力の変化を回避する。【解決手段】 ガスボンベを原料ガス供給源32とする気相成長装置において、気相成長を行う反応管13に対し、原料ガス供給源32のガスボンベからの原料ガス供給と、キャリアガスとを切り換え供給する切り換え手段100を設ける。

請求項（抜粋）：

ガスボンベを少なくとも原料ガス供給源の一部として有する気相成長装置において、気相成長がなされる反応管に対して、上記ガスボンベによる原料ガス供給源からの原料ガスと、キャリアガスとを切り換え供給する切り換え手段を設けたことを特徴とする気相成長装置。