特許
J-GLOBAL ID：200903066317172903
共焦点顕微鏡、光学式高さ測定方法及び自動合焦方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2002001841
公開番号（公開出願番号）：WO2002-068903
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：
共焦点顕微鏡は、共焦点パターンを通過した光源からの光を対物レンズを介して試料上で走査する手段と、前記対物レンズを介して前記共焦点パターンを透過した試料からの光を光電変換手段に結像させ共焦点画像を得る共焦点光学系と、前記光源と前記対物レンズとの間であって、前記対物レンズの瞳位置又は前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置され、光軸方向のセクショニング効果を可変可能にする可変絞りと、を具備する。
請求項（抜粋）：
共焦点パターンを通過した光源からの光を対物レンズを介して試料上で走査する手段と、
前記対物レンズを介して前記共焦点パターンを透過した試料からの光を光電変換手段に結像させ共焦点画像を得る共焦点光学系と、
前記光源と前記対物レンズとの間であって、前記対物レンズの瞳位置又は前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置され、光軸方向のセクショニング効果を可変可能にする可変絞りと、を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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