特許

J-GLOBAL ID：200903066347447966

移換え装置

発明者： 松尾 佳幸
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-161973
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012703
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの移換え動作を簡略化して移換え時間を短縮する。【解決手段】 移換え動作の初期状態では、ウエハ37が載置された収納部材39は空の保持部材38よりも鉛直方向V上方に配置される。保持部材38は、収納部材39の内部空間を鉛直方向Vに通過可能である。移動機構35は、初期状態から載置台33を鉛直方向上向きV1に上昇移動させ、その上に載置される保持部材38を収納部材39の内部空間を通過させて該部材39よりも鉛直方向V上側に至るまで上昇移動させる。保持部材38は収納部材39の内部空間を通過するとき、この内部空間に保持されるウエハ37を下方から支持し、持上げて部材39から取外す。これによってウエハ37は保持部材38に移換えられる。

請求項（抜粋）：

装置から取外し可能な収納部材内に収納された複数の移換えの対象部材を、装置から取外し可能な載置部材に移換える移換え装置において、収納部材は、対象部材の最大の幅よりも小さい内径を有する挿通孔であって、収納部材を重力が作用する鉛直方向に沿って貫通する挿通孔が設けられ、対象部材は少なくともその一部分が挿通孔内に露出するように収納され、載置部材は、収納部材の挿通孔を通過可能な大きさを有し、収納部材が鉛直方向に沿って載置部材よりも上方の離反した位置に設置された初期状態から、載置部材が収納部材の挿通孔を鉛直方向に沿って相対的に通過して離反するように、収納部材および載置部材の少なくともいずれか一方部材を移動させる移動手段を含むことを特徴とする移換え装置。