特許
J-GLOBAL ID：200903066348688908
円形被検査物の検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322519
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 円形の被検査物上の印刷パターンの位置ずれを検査することができる検査装置を提供する。【構成】 パターン11が印刷された円形の被検査物1はCCDカメラ4により撮像される。画像処理装置3は所定の閾値でCCDカメラ4により撮像された画像を2値化することにより被検査物1の外周部(エッジ)と、その上の印刷パターンと背景部に分離する。そしてこのエッジとウインドウ9、10に基づいて被検査物1の検査位置における中心位置の位置ずれを補正し、ついで円形のウインドウ12、13を用いて被検査物1の外周とパターン11の正常印刷位置の最外周位置の間の画素数をカウントし、そのカウント値を所定値と比較することにより、パターン11が被検査物1の正常印刷位置に印刷されているか否かを判定する。
請求項（抜粋）：
パターンが印刷された円形の被検査物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像から被検査物のXY平面における少なくとも2ヶ所のエッジ座標を検出するエッジ検出手段と、前記エッジ検出手段により検出されたエッジ座標と被検査物の正常検査位置のエッジ座標に基づいて被検査物の検査位置における中心位置の位置ずれを補正する補正手段と、前記補正手段により補正された被検査物の外周とパターンの正常印刷位置の最外周位置の間の画素数をカウントし、そのカウント値を所定値と比較することにより、パターンが被検査物の正常印刷位置に印刷されているか否かを判定する判定手段とを有する円形被検査物の検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/00
, B41F 33/14
, G06F 15/62 410
, G06F 15/70 330
, G06F 15/70 455
