特許

J-GLOBAL ID：200903066359873723

スピンコーター

発明者： 坂大 武志 ,  本田 卓生 ,  植松 卓也 ,  森田 真一
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社 ,  日本たばこ産業株式会社
代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230373
公開番号（公開出願番号）：特開平8-071484
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：

【要約】【目的】基板表面に接触させる乾燥用気体の流量、流速および接触位置を調整可能に構成することにより、均一な厚さの塗膜を一層効率的に形成することが出来るスピンコーターを提供する。【構成】頂部に開口部(2c)が設けられたハウジング(2)と、開口部(2c)の下方のハウジング(2)内に配置され且つ基板(W)が水平に搭載される回転テーブル(3)と、回転テーブル(3)上の基板(W)表面に塗布液を供給するノズル(5)と、ハウジング(2)内をその下方から排気することにより開口部(2c)から気体を導入する排気機構とを備えたスピンコーターにおいて、開口部(2c)の開口面積が縮小可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

頂部に開口部(2c)が設けられたハウジング(2)と、開口部(2c)の下方のハウジング(2)内に配置され且つ基板(W)が水平に搭載される回転テーブル(3)と、回転テーブル(3)上の基板(W)表面に塗布液を供給するノズル(5)と、ハウジング(2)内をその下方から排気することにより開口部(2c)から気体を導入する排気機構とを備えたスピンコーターにおいて、開口部(2c)の開口面積が縮小可能に構成されていることを特徴とするスピンコーター。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/16 502