特許
J-GLOBAL ID：200903066370960042
静電アクチュエータおよび該アクチュエータを用いたプローブ、走査型プローブ顕微鏡、加工装置、記録再生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-046761
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218206
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】安定して使用できるストロークを従来に比較して大きく取れるアクチュエータと、それを用いたプローブと、そのプローブを用いた走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡、加工装置、および記録再生装置を提供する。【解決手段】静電アクチュエータは、基板と、該基板上に形成された固定電極と、ねじれの軸が一直線上に配置された2本のトーションバー部と、TBの一端を、TAが前記基板に対して空隙を介するように、前記基板上の前記固定電極が形成された側に固定する支持部と、トーションバー部の基板に非固定側の端に、ねじれの軸回りに回転自由に支持の回転部材と、その上に形成され、固定電極と対向配置された可動電極と、該回転部材のMEよりもTBの取付部から離れた端に配置された変位規制部材とを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成された固定電極と、ねじれの軸が一直線上に配置された2本のトーションバー部と、該トーションバー部の一端を、前記ねじれの軸が前記基板に対して空隙を介するように、前記基板上の前記固定電極が形成された側に固定する支持部と、前記トーションバー部の基板に固定されていない側の端に、前記ねじれの軸回りに回転自由に支持される回転部材と、該回転部材上に形成され、前記固定電極と対向するように配置された可動電極と、該回転部材の前記可動電極よりもトーションバーの取付部から離れた端に配置された変位規制部材と、を有することを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G11B 9/00
, G11B 21/02
, G11B 21/21
G01N 37/00 A
, G11B 9/00
, G11B 21/02 A
, G11B 21/21 A
