特許

J-GLOBAL ID：200903066372316795

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチツプの作製方法

発明者： 戸田 明敏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096404
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133740
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【目的】探針部の及びレバー部の長さの揃った複数のカンチレバーチップを同時に作製する。【構成】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップは、レバー部31と、レバー部31の自由端に配設される探針部32と、探針部32と反対側でレバー部31に配設されるミラー部34と、レバー部31の基端側を支持する支持部33とを具備する。レバー部31と支持部33との間に段差が形成され、探針部32が配設されている側のレバー部31の面よりも、支持部33が引込むように配置される。

請求項（抜粋）：

レバー部と、上記レバー部の自由端に配設される探針部と、上記レバー部の基端側を支持する支持部と、を具備する走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップの作製方法であって、エッチング停止層を挟んで配設された第1及び第2の半導体層を有するウェハをスタートウェハとして使用し、半導体製造プロセスによりカンチレバーチップを作製する方法。

IPC (4件)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  G01N 19/08 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-297001
  
• 特開平3-075501
  
• 特開平2-218172
  
• 特開平2-271523