トランジスタの製造方法、トランジスタ、トランジスタを用いた集積回路、電気光学装置及び電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096513
公開番号（公開出願番号）：特開2004-304022
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】液状材料を用いた液滴吐出方式によって薄膜デバイスを構成する薄膜を形成し、特に半導体膜内に不純物原子を拡散させるトランジスタの製造方法、トランジスタ、トランジスタを用いた集積回路、電気光学装置及び電子機器を提供すること。【解決手段】基材10上に、ゲート電極18と、ゲート絶縁膜15と、チャネル領域14Cと、ソース領域14S及びドレイン領域14Dとが順次配置されたトランジスタを製造する方法において、ソース領域14S及びドレイン領域14Cを形成する工程は、露出状態の半導体膜14の一部を被覆する被覆部16を形成する工程と、被覆部16で一部が被覆された半導体膜14の露出部に不純物を含有する液状材料19を接触配置させる工程と、液状材料19と半導体膜14とを接触配置させた状態で不純物原子を半導体膜14内に拡散させる工程とを具備することを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基材上面に、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、チャネル領域と、ソース領域及びドレイン領域とが順次配置されたトランジスタを製造する方法において、前記ソース領域及び前記ドレイン領域を形成する工程は、露出状態の半導体膜に不純物原子を含有する液状材料を接触配置させる工程と、前記液状材料を熱処理して不純物含有薄膜を形成する工程と、該不純物含有薄膜から前記不純物原子を前記半導体膜内に拡散させる工程と、を具備することを特徴とするトランジスタの製造方法。

IPC (7件)：

H01L21/336 , G02F1/1368 , H01L21/225 , H01L21/288 , H01L21/768 , H01L29/786 , H05B33/14

FI (8件)：

H01L29/78 616L , G02F1/1368 , H01L21/225 R , H01L21/288 Z , H05B33/14 A , H01L29/78 616N , H01L29/78 618D , H01L21/90 Q

Fターム (135件)：

2H092GA17 , 2H092GA29 , 2H092GA50 , 2H092GA51 , 2H092JA03 , 2H092JA05 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA28 , 2H092JA34 , 2H092JA43 , 2H092JA44 , 2H092JA46 , 2H092JB05 , 2H092JB52 , 2H092JB56 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA06 , 2H092KA10 , 2H092KA18 , 2H092KB13 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA07 , 2H092MA08 , 2H092MA10 , 2H092MA13 , 2H092MA15 , 2H092MA17 , 2H092MA26 , 2H092MA27 , 2H092MA28 , 2H092MA29 , 2H092MA30 , 2H092MA42 , 2H092NA13 , 2H092NA15 , 2H092NA18 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092RA05 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD19 , 4M104DD22 , 4M104DD51 , 4M104DD78 , 4M104EE03 , 4M104EE05 , 4M104EE15 , 4M104GG20 , 5F033GG04 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH15 , 5F033HH17 , 5F033HH38 , 5F033JJ07 , 5F033JJ11 , 5F033JJ13 , 5F033JJ14 , 5F033JJ15 , 5F033JJ17 , 5F033JJ38 , 5F033KK03 , 5F033PP26 , 5F033QQ09 , 5F033QQ37 , 5F033QQ73 , 5F033RR09 , 5F033RR13 , 5F033RR14 , 5F033SS22 , 5F033VV15 , 5F033XX34 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110CC08 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110EE03 , 5F110EE34 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF27 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG22 , 5F110GG35 , 5F110GG42 , 5F110GG44 , 5F110HJ13 , 5F110HJ16 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL07 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110HM14 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN23 , 5F110NN33 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN44 , 5F110PP03 , 5F110PP16 , 5F110PP27 , 5F110QQ06 , 5F110QQ11 , 5F110QQ12 , 5F110QQ19 , 5F110QQ24

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