特許
J-GLOBAL ID：200903066381457261
露光装置及び露光装置の光学系のミュラー行列を測定する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-348131
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116732
出願日： 2003年10月07日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】露光装置を分解することなく装置内部に含まれる光学系のミュラー行列を測定する。 【解決手段】 光源装置1からの光束を、第1偏光変換装置2により、ポワンカレ球上で直交する関係にある複数の偏光光に順次変換して出力する。投影光学系6等にこの偏光光を通過させ、光検出部8で光強度を検出する。第2偏光変換装置7内の直線偏光子の方位角を45×n°(nは整数)に設定し、1/4波長板の挿脱を切り替えて、複数の光強度の検出を行なう。得られた複数の光強度のデータに基づき投影光学系6等による変換後の偏光光のストークスパラメータを演算し、さらに投影光学系6のミュラー行列(M)を演算する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光束を発する光源と、
被露光体上に形成するマスクパターンを備えたフォトマスクと、
前記光束を前記フォトマスクに導く照明光学系と、
前記マスクパターンの像を前記被露光体上に投影するための投影光学系と
を備えた露光装置において、
前記光束をポワンカレ球上で直交する関係にある複数の偏光光のいずれかに順次変換して出力する第1の偏光変換装置と、
前記投影光学系による前記マスクパターンの像の結像位置の近傍に載置され前記偏光光が前記照明光学系と前記フォトマスクと前記投影光学系とを通過した後の変換偏光光の光強度を検出する光強度検出部と、
直線偏光子及び直線移相子を含み前記変換偏光光の光路に挿入される第2の偏光変換装置と、
前記直線偏光子の方位角及び前記直線移相子の挿脱又は方位角を切り替えることにより前記光強度検出部で検出される前記光強度の複数のデータを取得して、得られた複数の光強度のデータに基づき前記変換偏光光のストークスパラメータを演算するパラメータ演算部と、
演算された前記変換偏光光のストークスパラメータ及び前記第1偏光変換装置から出力された前記偏光光のストークスパラメータとに基づいて前記第2偏光変換装置が挿入された位置の手前に存在する光学系のミュラー行列を演算するミュラー行列演算部と
を備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L21/027
, G02B5/30
, G03F7/20
H01L21/30 516A
, G02B5/30
, G03F7/20 521
2H049BA02
, 2H049BA06
, 2H049BA07
, 2H049BB03
, 2H049BB05
, 2H049BC21
, 5F046BA03
, 5F046CB15
, 5F046CB17
, 5F046CB25
, 5F046DA13
