特許

J-GLOBAL ID：200903066382903001

研磨装置及び研磨制御方法

発明者： 塩谷 剛和
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 本庄 富雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-026291
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197404
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】 曲面形状をした光学素子あるいはそれらの成形金型を研磨する研磨装置及び研磨制御方法において、工具の被加工物に対する接触圧力を、専用の加圧手段を用いることなく発生し、精度よく制御すること。【構成】 Z軸スライド5のベアリングスライド7,8に、自重によって鉛直方向に下降自在な加圧軸6を嵌装し、その下端に工具10を取り付ける。そして、被加工物11の加工面の法線方向が鉛直方向となるよう、被加工物の姿勢を制御する。これにより、工具の接触圧力は前記軸の自重を利用して発生させることが出来、専用の加圧手段は不用となる。一方、Z軸スライドの移動方向は、加工を行っている間は下降させ続けるか上昇させ続けるかのいずれか一方に保つ。Z軸スライドが加圧軸に与える動摩擦力の方向が一定となるので、接触圧力の大きさが加工の途中で変化せず、精密な加工が可能となる。

請求項（抜粋）：

被加工物を担持し且つ該被加工物の加工面法線方向が鉛直方向となるよう担持姿勢を制御すると共に水平面方向位置を制御する担持駆動手段と、下端に工具が取り付けられ該工具による被加工物の加圧に自重を利用する加圧軸と、該加圧軸を保持した鉛直方向移動体を有し、該鉛直方向移動体の鉛直方向位置を制御する鉛直方向駆動手段と、該工具による被加工物への加圧力が一定となるように前記担持駆動手段及び鉛直方向駆動手段に制御信号を発する制御手段とを具えたことを特徴とする研磨装置。