特許
J-GLOBAL ID：200903066387163146
半導体導波管フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-103003
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314909
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は自己損失の少ない導波管フィルタを半導体にて構成することにより、MMIC化に適した小型且つ高性能な半導体導波管フィルタを提供することを目的とする。【構成】 本発明の半導体導波管フィルタは、動作周波数の半波長ごとに突壁4を有する溝部が形成された第1及び第2の半導体基板からなり、前記溝部及び突壁夫々が対峙するように前記第1及び第2の半導体基板を貼着した構成を採る。尚、第1の半導体基板のみに突壁を有する溝部を形成し、平板状の第2の半導体基板が前記第1の半導体基板上の溝部を施蓋するように両基板を貼着した構成としてもよい。
請求項（抜粋）：
動作周波数の半波長ごとに突壁を有する溝部が形成された第1及び第2の半導体基板からなり、前記溝部及び突壁夫々が対峙するように前記第1及び第2の半導体基板を貼着してなる半導体導波管フィルタ。
IPC (2件)：
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