集積回路の2つの線路間を電気的に接続する装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：宮崎昭夫 , 金田暢之 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-385102
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165672
出願日： 2003年11月14日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】接続体と電気伝導線路間の境界性面にボイドが形成される可能性を減らす。【解決手段】集積回路の2つの伝導線路1、2の間を電気的に接続する装置は、2つの線路1、2間に第1の伝導性接続体3aを有する。この装置は、第1の接続体との線路の境界面とは異なり、かつ線路の電流が流れる方向に平行であって、絶縁材料と線路の横方向の境界面とは異なった、2つの線路の1つの追加の境界面3bから3g;6aから6fをさらに有する。追加の境界面は、第1の接続体3aから線路の幅よりも実質的に小さい距離の位置に配置されている。この追加の境界面は、2つの線路1、2の間に第2の電気伝導性接続体3bから3gを配置することにより、または線路にリブ6aから6fを配置することにより、または線路の面の少なくとも1つに切り込みを配置することによって得ることができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

集積回路の第1の伝導線路(1)と第2の伝導線路(2)との間を電気的に接続する装置であって、前記第1の線路と前記第2の線路間に第1の伝導性接続体(3a)を有し、前記第1の線路は、前記第1の接続体との第1の境界面(4a)と、前記第1の線路を横方向に囲む絶縁材料との第2の境界面とを有し、前記第2の境界面は、前記第1の線路内を電流(I1)が流れる方向に実質的に平行である電気的接続装置において、前記第1の線路(1)は、前記第1の接続体から、前記第1の境界面における前記第1の線路の幅(11)よりも実質的に小さい距離(d)離れた位置に位置する、絶縁材料との少なくとも1つの追加の境界面(6aから6f;8)を有することを特徴とする電気的接続装置。

IPC (1件)：

H01L21/768

FI (1件)：

H01L21/90 A

Fターム (20件)：

5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH14 , 5F033KK08 , 5F033KK11 , 5F033KK14 , 5F033MM01 , 5F033MM22 , 5F033MM23 , 5F033NN34 , 5F033PP27 , 5F033QQ37 , 5F033QQ46 , 5F033RR01 , 5F033RR04 , 5F033RR11 , 5F033RR21 , 5F033RR24 , 5F033XX05 , 5F033XX06

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-332152
特開平4-332152

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