特許

J-GLOBAL ID：200903066396617001

脱泡装置

発明者： 大西 敏之 ,  竹本 達郎 ,  遠藤 友美智 ,  栗山 豊治
出願人/特許権者： 株式会社プランテックス
代理人 (1件)： 牧 哲郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129646
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293306
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】処理液中に浸潰した物品の表面の凹部やスルーホール内に付着した気泡を完全に除去する。【構成】空気層を除去した密閉器22内をピストン5により複数回に亘り吸引・減圧すると共に、振動台18により密閉器22に振動を加える。減圧により、基板21の表面に付着した気泡の体積が圧力に反比例して増大し、このため気泡に作用する浮力が増大し、基板21と気泡との接着力に比して浮力が相対的に大となって、気泡が基板21の表面から剥離・除去される。基板21表面の微細な凹部に付着した気泡であっても、減圧に伴って気泡の主要部が凹部外に大きく膨出するので、効果的に除去できる。

請求項（抜粋）：

処理液中に浸潰した物品の少なくとも被処理面を密閉すべき密閉器と、前記密閉器内の処理液を減圧すべき減圧手段とを備えてなる脱泡装置。

IPC (3件)：

B01D 19/00 101 ,  B01D 19/00 ,  C25D 5/34

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-046399
  
• 特公昭56-004639