固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197580
公開番号（公開出願番号）：特開平5-048069
出願日： 1991年08月07日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】水平レジスタの転送チャネルの電位に影響を与えずに高速化と高密度化を実現する。【構成】ポリシリコン転送電極5,6とタングステンの中間層12a,12bとを転送チャネル上に設けた第1のコンタクト部8,9によって接続し、さらにこの中間層とアルミニウム配線層14a,14bとを転送チャネル上に設けた第2のコンタクト部10,11によって接続する。これにより実効的な電極抵抗を低減でき高速動作が実現できる。また、タングステンはポリシリコンおよびアルミニウムとは合金化しないため、転送チャネルの電位に変動を与えることはない。さらに、第1のコンタクト部と第2のコンタクト部とを同一の位置に設けることが可能となるため電極ピッチを小さくして高密度化を実現できる。

請求項（抜粋）：

ポリシリコン膜で形成された水平レジスタの転送電極が前記水平レジスタの転送チャネル上に設けられたアルミニウム配線層と高融点金属による中間層を介して接続されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L 27/148 , H01L 21/90 , H01L 29/50 , H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭56-087379
特開昭62-042522
特開昭62-061358

前のページに戻る