特許

J-GLOBAL ID：200903066404245097

塗布装置

発明者： 岩見 諭
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-167582
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029789
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】基板の表面上にノズルより薬液を吐出し、所定の厚みの薄膜を形成する塗布装置において、ノズル先端部の薬液の乾燥を防ぎ、固化物の落下による基板の塗布むらや汚染を防止する。【構成】薬液を吐出するノズル1の先端部の外周を中空円筒形のスポンジ材からなる多孔質溶剤溜り7で覆い、ノズル1が塗布処理を行っていない待機時に溶剤供給配管12より溶剤3を供給することによって、溶剤3を多孔質溶剤溜り7に内包させる。溶剤3は円筒中空部11にて揮発しノズル1の先端部は溶剤雰囲気で満たされるので、ノズル1が待機時であっても或は塗布位置との間を移動中であっても、常にノズル1先端部の薬液が乾燥することはない。窒素送出配管13は、円筒中空部11に溶剤供給時に残留し落下し易くなっている溶剤3を排出するためのパージ用配管である。

請求項（抜粋）：

基板の表面上にノズルより薬液を吐出し、所定の厚みの薄膜を形成する塗布装置において、前記ノズルを囲み下端が開口されているノズルブロックと、このノズルブロック内に保持され前記ノズルの先端部を覆う多孔質溶剤溜りとを備え、この多孔質溶剤溜りに溶剤を供給する溶剤供給配管と、多孔質溶剤溜りとノズル外周部との間に設けられた間隙部に窒素を送出する窒素送出配管とを前記ノズルブロックに接続したことを特徴とする塗布装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-046730
  
• 特開昭62-121669
  
• 特開昭59-197133
  
• 特開平2-194873