特許

J-GLOBAL ID：200903066415669077

荷電粒子線装置

発明者： 小柏 剛 ,  佐藤 貢
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353949
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157791
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】観察目的に最も適したWDの条件が容易に設定できる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】本発明は、観察目的に必要な最小限の情報として、加速電圧と試料傾斜角度と使用する検出器とを指定することにより、その目的に最も適したWDを表示、あるいは、そのWDにステージを移動する手段を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を収束して試料上で走査する荷電粒子光学系と、試料を少なくとも水平方向(X軸、Y軸)と垂直方向(Z軸)と傾斜方向(T軸)に移動可能な試料ステージと、当該荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段とを備え、前記二次信号粒子検出手段の信号でもって試料像を取得する荷電粒子線装置において、少なくとも加速電圧と試料傾斜角度と検出器とを指定する観察条件指定手段を備え、当該指定手段の指定状態に連動して、ワーキングディスタンス(WD)を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244

FI (3件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/244

Fターム (9件)：

5C001AA04 ,  5C001AA05 ,  5C001CC04 ,  5C033NN01 ,  5C033NP03 ,  5C033NP06 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 荷電粒子線照射装置及びそれを用いた走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-159572   出願人：株式会社日立製作所
• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-301990   出願人：株式会社日立製作所