特許

J-GLOBAL ID：200903066416713452

固体レーザ装置

発明者： 成田 太治
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-218347
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055669
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】【目的】 固体レーザにおいて、励起用ランプへの供給エネルギーを制御することにより、パルスレーザ発振のパルスレーザエネルギーの波形を変化させ、レーザエネルギーの過多または不足等のない、安定で適正なレーザ加工が行える固体レーザ装置を提供する。【構成】 従来の固体パルスレーザ用電源装置に第2のスイッチング素子11と強制放電回路9と電圧検出回路12とを付加したメインユニット8と、第2の充電電源19と第3のスイッチング素子22と第2のダイオード23と第3のインダクタンス24とサブコンデンサバンク25とにより構成されたサブユニット6とを励起用ランプ17の電源装置とする。

請求項（抜粋）：

メインコンデンサバンクとそのメインコンデンサバンクに充電するための第1の充電電源とメインコンデンサバンクに充電される充電電流を制限するための第1のインダクタンスとメインコンデンサバンクに充電された電荷の放電を制限するための第2のインダクタンスと逆流防止用の第1のダイオードとメインコンデンサバンクに充電された電荷の放電を制御する第1のスイッチング素子と第1の充電電源の正の出力端子と第1のインダクタンスの間に直列に接続された第2のスイッチング素子とメインコンデンサバンクに並列に接続されメインコンデンサバンクの充電電圧とともに後述のサブコンデンサバンクの充電電圧を検出する電圧検出回路と第1のスイッチング素子を介してメインコンデンサバンクと閉回路を作るように接続された強制放電回路と励起用ランプを接続するための正の出力端子と負の出力端子とを備え励起用ランプを正負の出力端子に接続したときにメインコンデンサバンクと第1のスイッチング素子と第1のダイオードと第2のインダクタンスが励起用ランプを介して閉回路を形成するように接続されたメインユニットと、サブコンデンサバンクとサブコンデンサバンクに充電するための第2の充電電源とサブコンデンサバンクに充電された電荷の放電を制御する第3のスイッチング素子と逆流防止用の第2のダイオードとサブコンデンサバンクに充電された電荷の放電を制限するための第3のインダクタンスと励起用ランプを接続するための正の端子と負の出力端子とを備え励起用ランプを正負の出力端子に接続したときにサブコンデンサバンクと第3のスイッチング素子と第2のダイオードと第3のインダクタンスが励起用ランプを介して閉回路を形成するように接続されたサブユニットと、前記各スイッチング素子の開閉を制御するゲート信号制御回路と、励起用ランプとからなり、励起用ランプによりレーザ媒質を励起する固体レーザ装置。