特許

J-GLOBAL ID：200903066418924507

合成石英ガラス材及びその製造方法

発明者： 林 茂利 ,  荒堀 忠久 ,  中村 哲之
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社 ,  住金石英株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-213770
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059034
出願日： 1995年08月22日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【課題】 真空紫外域〜紫外域の光の照射に対する石英ガラスの損傷を抑制し、あるいは防止するために合成ガラスが具備すべき条件が完全に把握されておらず、どのような構成とすべきかが不明確である。【解決手段】 合成石英ガラス材中のH2 分子を1015個/cm3 以上、溶解度以下、SiH基を6×1016個/cm3 未満、及びOH基を100ppm以下の範囲で含有する構成とする。

請求項（抜粋）：

H2 分子を1015個/cm3 以上、溶解度以下、SiH基を6×1016個/cm3 未満、及びOH基を100ppm以下の範囲で含有することを特徴とする合成石英ガラス材。

IPC (5件)：

C03C 3/06 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00 ,  C03C 4/00 ,  G02B 1/02

FI (5件)：

C03C 3/06 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00 ,  C03C 4/00 ,  G02B 1/02

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平3-183627
  
• 特開平4-130031
  
• 特開平4-021540
  
• 特開平3-183627
  
• 特開平4-130031
  
• 特開平4-021540