特許

J-GLOBAL ID：200903066423525890

ドレッシング装置および方法

発明者： 西 原 浩 巳 ,  齊 藤 日出夫 ,  伊 藤 史 隆 ,  川 面 貴 裕
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236015
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061838
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 常に安定して一定のコンディションに研磨布をドレッシングすることができ、しかも、最小限のドレッシング量で研磨布の表面を平坦にドレッシングする。【解決手段】 研磨布2が表面に固定され、水平面上で研磨布2を回転させる定盤と、研磨布2の表面を削り、ドレッシングをするドレッシング用工具13と、コラム12に鉛直方向の移動が可能なように取り付けられ、定盤1上の研磨布2と対向させてドレッシング工具13を保持するドレッシングヘッド11と、ドレッシングヘッド11に接続され、ドレッシング工具13を回転駆動する第1の電動モータ15と、ドレッシングヘッド11を鉛直方向に送り、ドレッシング工具13を研磨布2に押し付ける精密送り機構32と、精密送り機構32を駆動する第2の電動モータ34と、ドレッシング工具13を予め設定した送り量だけ送るために、ドレッシング工具13の位置を制御する位置制御手段とを備える。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカルポリッシング装置に用いられる研磨布をドレッシングするためのドレッシング装置において、研磨布が表面に固定され、水平面上で研磨布を回転させる定盤と、前記研磨布の表面を削り、ドレッシングをするドレッシング用工具と、コラムに鉛直方向の移動が可能なように取り付けられ、前記定盤上の研磨布と対向させて前記ドレッシング工具を保持するドレッシングヘッドと、前記ドレッシングヘッドに接続され、前記ドレッシング工具を回転駆動する第1の電動モータと、前記ドレッシングヘッドを鉛直方向に送り、前記ドレッシング工具を前記研磨布に押し付ける精密送り機構と、前記精密送り機構を駆動する第2の電動モータと、前記ドレッシング工具を予め設定した送り量だけ送るために、前記ドレッシング工具の位置を制御する位置制御手段と、を具備したことを特徴とするドレッシング装置。

IPC (2件)：

B24B 53/00 ,  B24B 53/02

FI (2件)：

B24B 53/00 A ,  B24B 53/02

Fターム (5件)：

3C047AA05 ,  3C047AA08 ,  3C047AA15 ,  3C047AA34 ,  3C047AA38