特許

J-GLOBAL ID：200903066424210559

静電チャック

発明者： 久保田 芳宏 ,  川合信 ,  小嶋 伸次
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112907
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326179
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は導電性、半導電性または絶縁性の対象物を強く静電的に吸着し、容易に脱着することができるし、この接着剤が耐プラズマ性のすぐれたものであることから、半導体や液晶などの製造プロセスに有用とされる静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆してチャック機能部を形成し、このチャック機能部の一方の面にプレート部を接合することにより構成する静電チャックにおいて、チャック機能部とプレート部とをフッ素変性オルガノポリシロキサン組成物からなる接着剤で接着してなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆してチャック機能部を形成し、このチャック機能部の一方の面にプレート部を接合することにより構成する静電チャックにおいて、チャック機能部とプレート部とをフッ素変性オルガノポリシロキサン組成物で接着してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/78 ,  H02N 13/00