特許
J-GLOBAL ID：200903066430625558
印刷方法及び印刷装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031883
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226042
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、平面表示パネルを構成する平面基板上に各種ペーストを塗布する印刷方法、及び印刷装置に関し、簡単な手段により効率良く被印刷物の反りを矯正した状態での印刷を可能にすることにより、膜厚の均一化を実現することを目的としている。【解決手段】 複数の吸着孔2を有するステージ1上に平面基板3を吸着固定し、その平面基板表面にペースト材4を所定のパターンで印刷する印刷方法において、前記ステージ1の吸着力を前記平面基板3の面内の異なる位置で異ならせ、その面内不均一な吸着力で当該平面基板3の反りを矯正しながらステージ1上に吸着させて前記ペースト材4の印刷を行なう構成としている。
請求項（抜粋）：
複数の吸着孔を有するステージ上に平面基板を吸着固定し、該平面基板表面にペースト材を所定のパターンで印刷する印刷方法において、前記ステージの吸着力を前記平面基板の面内の異なる位置で異ならせ、その面内不均一な吸着力で当該平面基板の反りを矯正しながらステージ上に吸着させて前記ペースト材の印刷を行なうことを特徴とする印刷方法。
IPC (2件)：
B41F 15/08 303
, H01J 9/02
B41F 15/08 303 E
, H01J 9/02 F
