特許
J-GLOBAL ID：200903066442589697
光学ペリクルを保持する保持装置及び光学ペリクル使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225841
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197135
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 ペリクル薄膜の汚染又は損傷の可能性を軽減する光学ペリクルの取り扱い装置を提供すること。【構成】 ペリクルフレーム14と、ペリクル薄膜16とから成る光学ペリクルを保持する装置が提供される。該装置は、光学ペリクルを着脱可能に受け入れる中央に配置した窓18を有する略剛性な平坦部材10を備えている。該窓18の内側寸法は前記ペリクル12の外側寸法より極く僅かだけ大きくし、そのため、平坦部材10とペリクル12とを摩擦嵌めさせ得るようにする。該平坦部材10は、ペリクル12が着座可能である内方伸長ショルダ22を備えている。該ショルダ22は、ペリクルフレーム14の肉厚以上、内方に伸長しない。該平坦部材10は又、窓18に向けて内方を向き、ペリクル12を適所に弾性的に保持する偏倚部分を備えている。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームと、ペリクル薄膜とから成る光学ペリクルを保持する保持装置にして、光学ペリクルを着脱可能に受け入れる中央に配置した窓を画成する略剛性で平坦な部材を備え、前記窓の内側寸法がペリクルの外側寸法より極く僅かだけ大きく、そのため、前記平坦部材とペリクルとの摩擦嵌めが実現可能であるようにし、前記平坦部材が、前記ペリクルが着座可能である内方伸長ショルダを備え、前記ショルダがペリクルフレームの厚さ以上、内方に伸長しないようにし、前記平坦部材が、前記窓に向けて内方を向き、ペリクルを適所に弾性的に保持する偏倚部分を更に備えることを特徴とする装置。
引用特許：
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