特許

J-GLOBAL ID：200903066443683760

カセット識別方法

発明者： 萱野 朋生
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169689
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013453
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 工程間を搬送される半導体ウェーハを収納した多種類のカセットを迅速に識別する方法を提供する。【構成】 識別する方法であって、前記カセット1のフランジ部2に2進化10進法による識別コードを構成する穴群3a,3b,3c,3dを加工して配列することにより多種類の識別を可能にし、一方カセット1をハンドリングする搬送装置4のアーム5に識別センサ6を埋め込むことにより、カセット1をアーム5でハンドリングするときに、迅速に識別コードを読み取ることを可能にする。

請求項（抜粋）：

工程間を搬送される半導体ウェーハを収納したカセットを識別する方法であって、前記カセットのフランジ部に2進化10進法による識別コードを複数組穴明け加工して配列するとともに、前記カセットをハンドリングする搬送装置のアームに埋め込んだ識別センサで前記フランジ部の識別コードを読み取ることを特徴とするカセット識別方法。