低反射黒色膜、低反射黒色積層膜、低反射黒色膜の製造方法およびカラーフィルター

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108155
公開番号（公開出願番号）：特開2000-303163
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】これまでの低反射黒色膜に比べ、光学特性および耐熱性の良好なブラックマトリックス材料に用いられる低反射黒色(積層)膜および該低反射黒色(積層)膜を用いたブラックマトリックスを可能にし、該ブラックマトリックスが設けられたカラーフィルターを提供する。【解決手段】基板上に形成される、(1)(1-1)基板上に形成された少なくとも一層の低反射黒色膜が、チタン酸化物からなるチタン化合物を主成分とする均質組成の金属酸化物薄膜である低反射黒色膜、(2)(2-1)基板上に形成された低反射黒色膜が、深さ方向の面における主成分がTiO(2-X)(式中:0≦X≦2)で表わされるチタン化合物である金属酸化物薄膜であって、前記基板側最下面から黒色膜の表面に向かう膜厚方向に対して前記Xの値が連続的に増加または減少する傾斜組成を有する低反射黒色膜。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された、少なくとも一層のチタン酸化物からなるチタン化合物を主成分とする均質組成の金属酸化物薄膜であることを特徴とする低反射黒色膜。

IPC (6件)：

C23C 14/08 , C23C 14/32 , C23C 14/34 , G02B 5/00 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335

FI (10件)：

C23C 14/08 E , C23C 14/08 K , C23C 14/08 N , C23C 14/32 Z , C23C 14/34 N , C23C 14/34 R , C23C 14/34 U , G02B 5/00 B , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335

Fターム (31件)：

2H042AA09 , 2H042AA15 , 2H042AA26 , 2H048BA11 , 2H048BA43 , 2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BB01 , 2H091FA04Y , 2H091FA35Y , 2H091FB06 , 2H091FC03 , 2H091FC10 , 2H091FC26 , 2H091FD04 , 2H091FD13 , 2H091FD22 , 2H091HA07 , 2H091LA03 , 2H091LA17 , 4K029BA48 , 4K029BA49 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029BD09 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029DC02 , 4K029DD00 , 4K029EA06

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