複合酸化物焼結体の製造方法及びその焼結体からなるスパッタリングターゲット

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：東田潔 , 山下雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-150497
公開番号（公開出願番号）：特開2005-330158
出願日： 2004年05月20日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】従来技術で得られた酸化亜鉛と酸化アルミニウムとの焼結体と同等の密度を維持しながら、より抵抗率の低い焼結体を製造する方法及びこの焼結体からなるスパッタリングターゲットの提供。【解決手段】酸化亜鉛と酸化アルミニウムとからなる混合粉体を、1400°C以上で、酸素濃度20%以上の雰囲気下に、10時間以上保持して焼結せしめる。得られた複合酸化物焼結体からなるスパッタリングターゲット。この焼結体では、酸化アルミニウムの量が酸化亜鉛に対してアルミニウム換算で2〜7重量%であり、抵抗率3mΩ・cm以下、密度5.4〜5.6g/cm3である。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛と酸化アルミニウムとからなる混合粉体を、1400°C以上の焼結温度で、酸素濃度20%以上の焼結雰囲気下に、10時間以上保持して焼結せしめ、酸化亜鉛と酸化アルミニウムとの複合酸化物焼結体を得ることを特徴とする複合酸化物焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C04B35/453 , C23C14/34

FI (2件)：

C04B35/00 P , C23C14/34 A

Fターム (11件)：

4G030AA32 , 4G030AA36 , 4G030BA02 , 4G030GA11 , 4G030GA25 , 4G030GA27 , 4K029BA49 , 4K029BC09 , 4K029CA04 , 4K029DC05 , 4K029DC09

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2805813号(特許請求の範囲、2頁左欄7-11行等)
特許第3301755号(特許請求の範囲等)

審査官引用 (2件)

特開平3-164461
特開平2-149459

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