特許
J-GLOBAL ID:200903066459796815
小角領域X線装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
横川 邦明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-300465
公開番号(公開出願番号):特開平6-130002
出願日: 1992年10月13日
公開日(公表日): 1994年05月13日
要約:
【要約】【目的】 平行X線ビーム系の小角領域X線装置において、ピンホール等のX線規制孔で発生する寄生散乱線が試料に到達するのを防止して、分解能及びS/N比の高いX線像を得る。【構成】 試料2にX線を入射したときにその試料2から生じる散乱X線を入射X線に対する小角度の領域内において検出する小角領域X線装置である。X線源1から試料2に向かうX線光路上にピンホール11を設け、X線源1から出たX線をそのピンホール11によって平行X線ビームに成形して試料2に照射する。ピンホール11と試料2との間のX線光路上に、チャンネルカット結晶14,16を設ける。ピンホール11で発生する寄生散乱線Qはチャンネルカット結晶14,16によって除去される。
請求項(抜粋):
試料にX線を入射したときにその試料から生じる出力X線を入射X線に対する小角度の領域内において検出する小角領域X線装置であって、X線源から試料に向かうX線光路上にX線規制孔を設け、X線源から出たX線をそのX線規制孔によって平行X線ビームに成形して試料に照射するようにした小角領域X線装置において、上記X線規制孔と試料との間のX線光路上に、第1チャンネルカット結晶を設けたことを特徴とする小角領域X線装置。
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭58-095253
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特開平1-282451
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特開昭60-088340
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