特許

J-GLOBAL ID：200903066474827840

パターニング方法及びそれに用いる電着用原板、カラーフィルターの製造方法及び光記録媒体の製造方法

発明者： 今滝 寛之 ,  平岡 美津穂 ,  長野 和美 ,  田邊 浩 ,  矢野 敬弥
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-020266
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005320
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 基板上に2つもしくはそれ以上の種類のパターンを精度良く且つ低コストで形成することのできるパターニング方法を提供する点にある。【構成】 基板上に2つもしくはそれ以上の種類のパターンに対応するように電着層を形成することによって該基板のパターニングを行う方法において、該パターンのそれぞれに対応する導電性パターンを有し、それぞれの導電性パターンが表面に露出しかつ該導電性パターン上にそれぞれ独立して電着可能な様に互いに絶縁されている電着用原板を用意する工程、それぞれの導電性パターン上に電着層を順次析出せしめる工程、およびそれぞれの導電性パターン上に析出させた電着層を基板上に転写せしめる工程、とを有することを特徴とする。【効果】 電着工程とフォトリソ工程を完全に分離でき電着パターニングの効率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に2つもしくはそれ以上の種類のパターンに対応するように電着層を形成することによって該基板のパターニングを行う方法において、該パターンのそれぞれに対応する導電性パターンを有し、それぞれの導電性パターンが表面に露出しかつ該導電性パターン上にそれぞれ独立して電着可能な様に互いに絶縁されている電着用原板を用意する工程、それぞれの導電性パターン上に電着層を順次析出せしめる工程、およびそれぞれの導電性パターン上に析出させた電着層を基板上に転写せしめる工程、とを有することを特徴とするパターニング方法。