特許

J-GLOBAL ID：200903066482075866

研磨液および研磨方法

発明者： 鈴木 哲雄 ,  原 宣宏
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312267
公開番号（公開出願番号）：特開平11-140427
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】 うねり及び/又はヘイズ改善作用に優れた研磨液を提供する。【解決手段】 アルカリ成分およびコロイダルシリカを含む研磨液中に、炭素長鎖構造を有し、側鎖としてヒドロキシ低級アルコキシ基を有する鎖状炭化水素系高分子を、好ましくは0.003〜0.1重量%含有する研磨液である。

請求項（抜粋）：

アルカリ成分およびコロイダルシリカを含む研磨液中に、炭素長鎖構造を有し、側鎖としてヒドロキシ低級アルコキシ基を有する鎖状炭化水素系高分子を含有するものであることを特徴とする研磨液。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (5件)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 P