特許

J-GLOBAL ID：200903066484189966

磁気式リニアスケール

発明者： 成田 隆行
出願人/特許権者： 株式会社三協精機製作所
代理人 (1件)： 横沢 志郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315738
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148842
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】 温度変化に起因する表面保護板やベース板などの可撓性磁石からの剥離、および温度変化に起因する検出誤差の発生を防止することのできる磁気式リニアスケールを提供すること。【解決手段】 磁気式リニアスケールでは、可撓性磁石6の裏面7および表面8にベース板4と表面保護板5をそれぞれ積層してある。ベース板4は、それを装着すべき工作機械の基台11と同様、鉄製である。表面保護板5は15〜25%Cr-20〜30%Fe-65〜45%Ni合金によって形成され、基台11およびベース板4の熱膨張係数と等しい。従って、温度変化が生じてもこれらの伸縮量の差が極めて小さいので、いずれの部材も同様に伸縮するだけで、基台11に対する可撓性磁石6の相対的な位置が変化しない。また、ベース板4や表面保護板5は基台11や可撓性磁石6から剥離することがない。

請求項（抜粋）：

ベース板と、該ベース板上に裏面が接着され、長手方向に周期的に磁極が形成された可撓性磁石と、該可撓性磁石の表面に接着された表面保護板とを有し、該表面保護板の表面側において前記可撓性磁石に対して磁気センサを備える位置検出ユニットが相対移動する磁気式リニアスケールにおいて、前記ベース板と前記表面保護板とは、熱膨張係数がほぼ等しいことを特徴とする磁気式リニアスケール。

IPC (3件)：

G01D 5/245 101 ,  G01D 5/245 ,  G01B 7/00

FI (4件)：

G01D 5/245 101 H ,  G01D 5/245 X ,  G01D 5/245 V ,  G01B 7/00 F

引用特許：

出願人引用 (2件)

• スケール装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-068186   出願人：ソニーマグネスケール株式会社
• 特開平3-042515